Kalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace

0531103 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Řeřucha, Šimon - Holá, Miroslava - Hrabina, Jan - Oulehla, Jindřich - Šarbort, Martin - Lazar, Josef - Konečný, P. - Kůr, J. - Číp, Ondřej
Kalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace.
[Interferometric nano-comparator for calibrations of length gauges with nanometre accuracy.]
Internal code: APL-2020-01 ; 2020
Technical parameters: Rozsah měření délek až 70 mm, rozlišení měřené vzdálenosti 0.1 nm, linearita měření délky < 10 nm, absolutní přesnost < 10 nm, režim měření: absolutní, rozsah provozních teplot 18-25 oC.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ondřej Číp, Ph.D., ocip@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO(CZ) FV10336
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : laser interferometry * optical metrology * displacement gauge * calibration
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

Kalibrační nanokomparátor pro ověření délkových měřidel v jedné ose s vertikálním uspořádáním. Jako referenční stupnici využívá laserový diferenční interferometr s integrovanou pasivní kompenzací geometrických chyb (Abbého chyba, kosinová chyba ) a aktivní detekcí chyby vedení pohyblivého mostu. Podpůrná elektronika dále realizue aktivní stabilizaci měřicího zrcadla a dále sledování a kompenzaci vlivů prostředí (teplota, tlak, vibrace). Měřicí rozsah zařízení je >70mm, rozlišení stupnice je 0.1nm, absolutní přesnost pod 10nm. Rozlišení a přesnost dvojstupňového polohování je shodná s rozlišením i přesností měření, rychlost 2 mm/s. Šířka pásma měření je více než 100kHz.

Nanocalibrator for calibration of length gauges in a single axis with the vertical arrangement. Reference scale delivered by a differential laser interferometer with integrated passive compensation of the geometrical errors (Abbe error, cosine error) and active detection of the translation bridge’s guiding errors. The accompanying electronics does the active stabilization of the measuring mirror and the monitoring of and/or compensation for the environmental factors (temperature, pressure, vibrations). The nanocalibrator delivers the resolution of 0.1 with absolute accuracy below 10nm over the 70mm measurement range. The resolution and accuracy of the double-stage positioning are identical to that of the measurement, the positioning velocity is 2 mm per sec. The measurement bandwidth is more than 100 kHz.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0309846