Technická dokumentace ICP reaktoru rozšířeného o bezkontaktní externí ohřev planárních i práškových vzorků a rotační držáku

0523356 - FZÚ 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Remeš, Zdeněk
Technická dokumentace ICP reaktoru rozšířeného o bezkontaktní externí ohřev planárních i práškových vzorků a rotační držáku.
[Technical documentation of ICP reactor extended by contactless external heating of planar and powder samples and rotary holder.]
Internal code: 08 ; 2019
Technical parameters: Technické řešení představuje mechanickou montáž otočného držáku do posuvných dveří nízkotlakého reaktoru s bezkontaktním vnějším ohřevem.
Economic parameters: 100 tis Kč/rok
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TG02010056
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : plasma * inductive plasma reactor * nanoparticles
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)

Funkční vzorek se týká technického řešení rotačního držáku práškových vzorků s bezkontaktním ohřevem. Technické řešení představuje mechanickou montáž otočného držáku do posuvných dveří nízkotlakého reaktoru s bezkontaktním vnějším ohřevem. Funkčnost sestrojeného zařízení byla ověřena implementací výše uvedeného funkčního vzorku jako přídavného zařízení do vakuové sestavy komerčního nízkotlakého indukčního plasmového reaktoru, který je instalovaný a provozovaný v Oddělení optických materiálů Fyzikálního ústavu AV ČR (FZÚ) v Praze. Technické řešení zahrnuje i metodiku plasmové modifikace povrchu práškových vzorků včetně počítačových receptur optimalizovaných pro plasmový reaktor firmy SVCS Process Innovation, s. r. o.

The functional sample relates to the technical solution of the rotary powder sample holder with contactless heating. The technical solution presents the mechanical mounting of the swivel bracket in the sliding door of the low pressure reactor with non-contact external heating. The functionality of the constructed device was verified by implementing the above functional sample as an additional device into the vacuum assembly of a commercial low pressure induction plasma reactor, which is installed and operated at the Department of Optical Materials of the Institute of Physics of the Academy of Sciences of the Czech Republic in Prague. The technical solution also includes the methodology of plasmatic modification of the surface of powder samples, including computer recipes optimized for the ICP plasma reactor by SVCS Process Innovation, LtD.

Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0307715