Způsob výroby porézní diamantové vrstvy a tlustá porézní diamantová vrstva vyztužená nanovlákny

0520767 - FZÚ 2020 RIV cze P - Patent Document
Mortet, Vincent - Taylor, Andrew - Kavan, Ladislav - Frank, Otakar - Vlčková Živcová, Zuzana - Krýsová, Hana - Petrák, Václav
Způsob výroby porézní diamantové vrstvy a tlustá porézní diamantová vrstva vyztužená nanovlákny.
[A method of producing a porous diamond layer and a thick porous diamond layer reinforced by nanofibres.]
2019. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského AV ČR, v. v. i. Date of the patent acceptance: 12.06.2019. Patent Number: 307885
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TG02010056; GA ČR GA13-31783S
Institutional support: RVO:68378271 ; RVO:61388955
Keywords : diamond * porous * electrochemical electrode * boron
OECD category: Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.); Electrochemistry (dry cells, batteries, fuel cells, corrosion metals, electrolysis) (UFCH-W)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/307/307885.pdf

Předložený vynález popisuje způsob výroby porézní diamantové vrstvy (1, 6) a porézního diamantového tělesa (7) vyztuženého nanovlákny. Tento způsob zahrnuje krok očkování nanočástic diamantu do nanovláken z jakéhokoliv materiálu schopného odolávat podmínkám plazmou podporovaného ukládání. Naočkovaná nanovlákna jsou pak zamíchána do obětního materiálu. Tato směs je pak nanesena na substrát (2) a vysušena pro vytvoření pevného filmu z kompozitu nanovlákna/obětovaný materiál. Výsledný kompozitový film je pak podroben plazmou podporovanému chemickému ukládání diamantu z parní fáze za podmínek, kdy je obětní materiál rozkládán. Tyto kroky mohou být opakovány pro vytvoření nanovlákny vyztužené porézní diamantové vrstvy (6) požadované tloušťky. Diamant může být dopován borem

The present invention discloses a method of manufacturing a porous diamond layer and a nanofiber supported porous diamond body. The method comprising step of seeding of diamond nanoparticles into a nanofibers of any material susceptible withstand of plasma-enhanced deposition conditions. Seeded nanofibers are then mixed in a sacrificial material. This mixture is then applied on a substrate and dried to form a solid nanofibers/sacrificial material composite film. Resulting composite film is than subjected to plasma enhanced chemical vapour deposition of the diamond under conditions where the sacrificial material is decomposed. These steps can be repeated for forming a nanofibers supported porous diamond layer of a desired thickness. The diamond can be doped by boron. Such a conductive porous boron doped diamond layers serve for microelectronical (MEMS) applications where chemical stability is required. In particular, porous conductive boron-doped diamond films can be employed as a sensors, supercapacitor and/or a filter to separate organic electrochemical substances.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0305438