SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

0518131 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Horáček, Miroslav - Meluzín, Petr - Chlumská, Jana - Král, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Krátký, Stanislav - Knápek, Alexandr
SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM.
[SMV-2019-06: Development of test specimens for SEM.]
Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2019. 4 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : calibration specimen * relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)

Smluvní výzkum se týká vývoj v oblasti přípravy přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM). Pro přípravu preparátů jsou vyvíjeny mikro litografické techniky opracování křemíku a další související technologické postupy.

Contract research is concerned with the development of precision relief structures in silicon for testing of scanning electron microscopy (REM) imaging. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0303306