Držák vzorků s elektrickým kontaktováním

0518094 - ÚPT 2020 RIV cze P1 - User Module
Krutil, Vojtěch - Dupák, Libor - Fořt, Tomáš - Matějka, Milan - Srnka, Aleš - Vlček, Ivan - Urban, Pavel
Držák vzorků s elektrickým kontaktováním.
[Sample holder with electrical contact.]
2019. Owner: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 03.12.2019. Utility model number: 33444
R&D Projects: GA TA ČR TE01020233
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : cryogenic sample holder * UHV SEM/SPM microscope * electrical contacts
OECD category: Mechanical engineering
https://isdv.upv.cz/webapp/!resdb.pta.frm

Držák vzorku byl navržen pro ultravakuový skenovací elektronový a sondový mikroskop (UHV SEM/SPM), který slouží pro přípravu a charakterizaci vzorků nanostruktur v širokém rozsahu pracovních teplot 20 K až 700 K. Držák je vybaven deseti odpruženými elektrickými kontakty pro elektrické spojení transportní paletky s držákem, přičemž paletka může být osazena nejen vzorkem, ale také teplotním snímačem a odporovým topným elementem. Dvě čtveřice kontaktů jsou vyhrazeny pro vzorek a teplotní snímač, zbývající dvojice pro topný element. Při nízkoteplotních testech držáku ve zkušební vakuové komoře s průtokovým systémem chlazení, byla dosažena mezní teplota držáku 24 K při teplotě okolí 300 K. Funkce kontaktů byla úspěšně ověřena měřením přechodového elektrického odporu na spoji pevné a odpružené části kontaktů v celém rozsahu pracovních teplot. Z provedené rešeršní studie komerčně dostupných držáků vzorku vyplývá, že držáky pro uvažované použití nejsou na trhu dostupné.

The cryogenic sample holder was designed for an ultra-high vacuum scanning electron microscope combined with scanning probe microscope (UHV SEM/SPM). The microscope is suitable for fabrication and characterization of nanostructures in the low temperature range of 20 K – 300 K. The sample holder is equipped with ten spring-loaded electrical contacts for electrical connection of a removable transport pallet to the sample holder. The transport pallet with a sample is equipped with a low temperature sensor, a heating element and ten solid pins. Two quadruples of contacts are reserved for the sample and the temperature sensor allowing thus a precise four-wire measurement of electrical properties of the sample and its temperature. The remaining pair is reserved for two-wire connection of the heating element. In the low-temperature tests, the limit temperature of 22 K was reached in a test vacuum chamber with a cryogenic helium flow cooling system. The ambient temperature was 300 K. The contact function was successfully verified by measuring the transient electrical resistance within the whole range of the working temperatures. Additionally, a thorough research study of commercially available sample holders indicates that the holders for the intended use are not available on the market.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0303278