Zařízení pro opakovatelnou výrobu ostrých hrotů

0517263 - ÚPT 2020 RIV cze P1 - User Module
Knápek, Alexandr - Klein, Pavel - Delong, A.
Zařízení pro opakovatelnou výrobu ostrých hrotů.
[Equipment for repeated production of sharp tips.]
2019. Owner: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 07.10.2019. Utility model number: 33278
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electrochemical etching * sharp tip * anodical dissolution
OECD category: Automation and control systems
https://isdv.upv.cz/webapp/!resdb.pta.frm

Technické řešení se týká plně automatizovaného zařízení pro opakovatelnou výrobu ostrých hrotů elektrochemickou cestou, kdy je v zásaditém elektrolytu metodou anodického rozpouštění vytvořen ostrý hrot s průměrem řádově v desítkách nanometrů. Zařízení slouží pro výrobu ostrých autoemisních katod, dále pro výrobu sond pro sondovou rastrovací tunelovou
10 mikroskopii (STM) a také pro hroty nanomanipulátorů. Technické řešení sestává z mechanické a elektronické (řídicí) části, která zahrnuje speciální řídicí algoritmus založený na vyhodnocování gradientu leptacího proudu v reálném čase.


The technical solution relates to a fully automated device for repeated production of sharp tips by electrochemical method, where a sharp tip with a diameter of the order of tens of nanometers is created in the basic electrolyte by the anodic dissolution method. The device is used for the production of sharp auto-emission cathodes, further for the production of probes for scanning tunneling 10 microscopy (STM) and also for the tips of nanomanipulators. The technical solution consists of a mechanical and electronic (control) part, which includes a special control algorithm based on real-time evaluation of the etching current gradient.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302567