SMV-2019-05: Fázové mřížky

0517217 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Research Report
Krátký, Stanislav - Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2019-05: Fázové mřížky.
[SMV-2019-05: Phase grids.]
Brno: Ústav termomechaniky AV ČR, 2019. 5 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : e-beam lithography * diffractive grating * reactive ion etching
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)

Vývoj přípravy fázových mřížek pro použití ve spektroskopii materiálů. Během vývoje se prozkoumaly možnosti návrhu a přípravy fázových mřížek, které by byly naladěné na dvě odlišné vlnové délky. Teoretické simulace ukázaly, že se mřížka (hloubka mřížky) musí naladit na hodnotu mezi dvěmi zamýšlenými vlnovými délkami, aby se maximalizovaly účinnosti v prvních řádech pro obě vlnové délky. Vzorky byly následně vyrobeny pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání.

Development of phased gratings manufacturing for use in transient grating spectroscopy. Possible approaches for phased gratings design were studied during the development to achieve the maximum efficiency for two different wavelengths. Theoretic simulations showed that the grating has to be adjusted for the value of wavelength (the depth of the grating) between two desired values of wavelength to achieve the maximum efficiency in first diffractive orders. The samples were manufactured with use of e-beam lithography and reactive ion etching.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302499