Termodesorpční spektroskopie v CVD zařízení pro kontrolu přípravy grafenových podložek.

0509049 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Průcha, Lukáš - Piňos, Jakub - Sýkora, Jiří - Materna Mikmeková, Eliška
Termodesorpční spektroskopie v CVD zařízení pro kontrolu přípravy grafenových podložek.
[Thermal desorption spectroscopy in CVD device for the control of preparation of graphene based substrates.]
Internal code: APL-2019-11 ; 2019
Technical parameters: Funkční vzorek se skládá z hmotnostního spektrometru, CVD pece, 2 průtokoměrů, digitálního manometru, CF kříže, stojanu na ocelové křížení, UHV uzávěrů a turbomolekularní vývěvy.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu slouží k výzkumným účelům. Nedochází k přímému prodeji vzorku. Finanční vyčíslení případné prodejní ceny vychází z nákladů na vývoj, materiál, výrobu a přiměřený zisk. Kontakt: Ing. Lukáš Průcha, prucha@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : TDS * CVD * graphene * mass spectroscopy
OECD category: Materials engineering

Funkční vzorek byl navržen v rámci řešení projektu Podložky na bázi grafenu modifikované elektronovým svazkem pro LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) a otestován na CVD grafenu vyráběném pro tento projekt. Sledování desorpce plynů z povrchu vzorků při zahřívání je důležitá informace o čistotě povrchu pokud chceme vyrobit kvalitní grafenovou strukturu. Díky instalaci hmotnostního spektrometru do systému CVD pece je možné pozorovat nejen desorpci plynů z povrchu vzorku, ale je navíc možné pozorovat rozpadový proces metanu za vysokých teplot při výrobě CVD grafenu. Tyto informace jsou zásadní pro výrobu kvalitních grafenových podložek. Testování zařízení proběhlo na vzorcích grafenu, ale i na vzorcích čistého křemíku. Funkční vzorek lze použít na zjišťování povrchových nečistot (primárně uhlovodíků) odpařovaných z povrchu vzorku se zvyšující se teplotou a ke sledování rozpadu připouštěných plynů do CVD pece.

The functional sample was designed within the project Electron beam treated graphene based substrates for LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) and tested on CVD graphene produced for this project. Monitoring the desorption of gases from the surface of the samples when heated is important information about surface cleanliness if a high quality graphene structure should be produced. By installing a mass spectrometer in the CVD furnace system, it is possible to observe not only the desorption of gases from the sample surface, but also the high temperature decay process of methane in the production of CVD graphene. This information is essential for the production of high quality graphene substrate. Device testing was performed on graphene samples as well as on pure silicon samples. The functional sample can be used to detect surface impurities (primarily hydrocarbons) vaporized from the surface of the sample with increasing temperature and to monitor the disintegration of the added gases into the CVD furnace.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0299850