Technologie pro přípravu fázových destiček

0508977 - ÚPT 2020 RIV CZ cze O - Others
Matějka, Milan - Kolařík, Vladimír - Sháněl, O. - Schneider, M.
Technologie pro přípravu fázových destiček.
[Phase Plates Preparation Technologies.]
2019
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : e–beam lithography * electron microscopy * phase plates * membranes
OECD category: Nano-processes (applications on nano-scale)

Studie popisuje primární požadavky na přípravu specifických fázových destiček a zhodnocení potřebných a dostupných technologií pro jejich přípravu. Dále obsahuje případové studie z hlediska funkčních vlastností, typu struktur a výrobních technologií. V závěru jsou specifikovány parametry vzorků zamýšlených k realizaci v rámci projektu. Studie je doplněna o souhrn aktuálních publikací, ze kterých řešitelský tým vychází.

Study describes primal requirements for preparation of special phase plates and necessary and available production technologies evaluation. It also includes case studies according to functional features, structure types and production technologies. At the end, sample parameters chosen for realization during project are specified. Study is completed by set of recent publications, as an initial point of research team work.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0299799