BSE detektor střední třídy pro zákaznický upgrade REM/EREM

0507820 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Neděla, Vilém - Palupa, V. - Vítámvás, Pavel - Plachý, J.
BSE detektor střední třídy pro zákaznický upgrade REM/EREM.
[Middle class BSE detector for customer upgrade in SEM/ESEM.]
Internal code: APL-2019-02 ; 2019
Technical parameters: Provozní vlnová délka: 370 – 800 nm (dle materiálu světlovodu). Celková délka detektoru s vysunutou scintilačně-fotonásobičovou jednotkou: 521 mm. Celková délka detektoru v zasunutém stavu (optimalizováno pro Quanta 650 FEG): 481 mm. Provozní tlak v komoře vzorku elektronového mikroskopu (optimalizováno pro Quanta 650 FEG): 1.5e-4 až 2500 Pa. Funkčnost prototypu pro jeho zavedení do výroby byla ověřena v rastrovacím elektronovém mikroskopu Quanta 650 FEG v Laboratoři environmentální elektronové mikroskopie ÚPT AVČR v Brně. Průměr světlovodu: 20 mm (optimalizováno pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop Quanta 650 FEG).
Economic parameters: Prototyp realizovaný při řešení grantu CZ01102/00/00/15_019/0004693 s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení dle podmínek Smlouvy o využití výsledku výzkumu a vývoje č. 2 získaného v rámci řešení projektu „High-tech detekční systémy pro elektronovou mikroskopii.“ Ekonomický přínos bude realizován příjemcem projektu, firmou Tecpa s. r. o., IČ: 27675173, DIČ: CZ27675173 se sídlem Cornovova 829/48, 618 00 Brno. Kontakt: Ing. Vilém Neděla. Ph.D, vilem@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO(CZ) EG15_019/0004693
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : BSE detector * light-guide * scintillator * amplifier * manual drive console
OECD category: Electrical and electronic engineering

Předmětem výsledku výzkumu a vývoje je nový detektor skládající se z nové scintilačně-fotonásobičové detekční jednotky a nové konzole zajišťující posuv detekční jednotky a vyhodnocení detekovaného signálu. Nový BSE detektor střední třídy je určen pro upgrade stávajících detektorů používaných v rastrovacích elektronových mikroskopech několika výrobců. Výsledek reprezentuje detektor zpětně odražených elektronů s výrazně vylepšenou detekční účinností a funkčností posuvu detekční jednotky při zachování stávající nebo i nižší ceně produktu, v porovnání se standardně dodávaným produktem. Rozměrově je nový detektor plně kompatibilní se stávajícími detektory a porty v mikroskopech řady výrobců elektronových mikroskopů. Instalace nového detektoru je realizovatelná bez nutnosti jeho úprav a přizpůsobení. Výsledek vzniknul na základě know-how skupiny Environmetální elektronové mikroskopie ÚPT AVČR v Brně a ve spolupráci s firmou Tecpa s.r.o.

The result of the research and development is a new detection system. It consists of a redesigned detection unit based on scintillation-photomultiplier unit and a redesigned console which ensures manual movement of the detection unit and imaging as well as amplification of detected signal. The new middle class detector is designed for the upgrade of the existing detectors used in scanning electron microscopes of several producers. The result represents the detector of backscattered electrons with improved detection efficiency and functionality of the detection unit movement with the current or lower price of the product in comparison with the commonly supplied product. The new detector is dimensionally completely compatible with already existing detectors as well as ports where the detectors are usually mounted. Therefore, the detector is fully replaceable without any other adjustments. This outcome arose based on the know-how of the Environmental electron microscopy ISI CAS research group in Brno and in cooperation with Tecpa s.r.o.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0298787