Nový high-tech scintilačně-ionizační detektor pro REM/EREM nejvyšší třídy

0507815 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Neděla, Vilém - Palupa, V. - Vítámvás, Pavel - Plachý, J.
Nový high-tech scintilačně-ionizační detektor pro REM/EREM nejvyšší třídy.
[New high class scintillation-ionization high-tech detector for SEM/ESEM.]
Internal code: APL-2019-01 ; 2019
Technical parameters: Provozní vlnová délka: 370 – 800 nm (dle materiálu světlovodu). Celková délka detektoru s vysunutou scintilačně-fotonásobičovou jednotkou: 518 mm. Celková délka detektoru v zasunutém stavu (optimalizováno pro Quanta 650 FEG): 478 mm. Provozní tlak v komoře vzorku elektronového mikroskopu (optimalizováno pro Quanta 650 FEG): 1.5e-4 až 2500 Pa. Funkčnost prototypu pro jeho zavedení do výroby byla ověřena v rastrovacím elektronovém mikroskopu Quanta 650 FEG v Laboratoři environmentální elektronové mikroskopie ÚPT AVČR v Brně. Průměr světlovodu: 20 mm (optimalizováno pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop Quanta 650 FEG).
Economic parameters: Prototyp realizovaný při řešení grantu CZ01102/00/00/15_019/0004693 s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení dle podmínek Smlouvy o využití výsledku výzkumu a vývoje č. 2 získaného v rámci řešení projektu „High-tech detekční systémy pro elektronovou mikroskopii.“ Ekonomický přínos bude realizován příjemcem projektu, firmou Tecpa s. r. o., IČ: 27675173, DIČ: CZ27675173 se sídlem Cornovova 829/48, 618 00 Brno. Kontakt: Ing. Vilém Neděla. Ph.D, vilem@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO(CZ) EG15_019/0004693
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : REM * EREM * detector * ITO * scintillator * amplifier * mechanical drive console
OECD category: Electrical and electronic engineering

Předmětem výsledku výzkumu a vývoje je nový detektor skládající se z kompletně nové detekční jednotky a konzole s automatickým motorovým posuvem. Detekční jednotku tvoří světlovod, upravený scintilátor opatřený systémem tenkovrstvých indium-tin-oxide elektrod a elektronika pro zesílení a zpracování signálu detekovaného ionizační částí detektoru. Detekční jednotka s vylepšenou funkčností umožňuje detekovat zpětně odražené a v prostředí zvýšeného tlaku plynů i sekundární elektrony současně nebo dle výběru typu signálu jednotlivě. Detekční jednotka je umístěna do konzole, která je upevněna na komoru mikroskopu a je vybavená motorovým posuvem. Konzole zajišťuje pohyb detekční jednotky mezi parkovací a detekční pozicí a je vybavena elektronikou pro zpracování signálu detekovaného scintilační částí detektoru. Detektor je určen pro použití v rastrovacích, ale zejména environmetálních rastrovacích elektronových mikroskopech všech výrobců. Výsledek vzniknul na základě know-how skupiny Environmetální elektronové mikroskopie ÚPT AVČR v Brně a ve spolupráci s firmou Tecpa s.r.o.

The result of the research and development is a new detection system. It consists of a completely new detection unit and a console equipped with fully automatic motor retraction. It ensures mechanical movement of the detection unit and imaging as well as amplification of a detected signal. The detection unit consists of a light-guide with improved scintillator, which is equipped with a system of thin-film indium-tin-oxide electrodes and the electronics for amplification and the processing of a signal detected with the ionization detector. The detection unit with improved functionality allows detecting both backscattered and secondary electrons in the environment of increased gas pressure simultaneously or separately, according to the type of needed signal. The detection unit is placed in a console attached to a specimen chamber and the console is equipped with motor movement. The console ensures movement of the detection unit between parking and detection positions. It is also equipped with the electronics for amplification and processing of the signal detected with the scintillation detector. The detector is designed for use in scanning and especially environmental scanning electron microscopes of all producers. This outcome was based on the know-how of the Environmental Electron Microscopy ISI CAS research group in Brno and Tecpa s.r.o. Company.


Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0298785