Number of the records: 1
Zařízení pro pulzní plazmatické povlakování vnitřních povrchů dutých dielektrických trubic
- 1.0500946 - FZÚ 2019 RIV cze P1 - User Module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Klinger, Miloslav
Zařízení pro pulzní plazmatické povlakování vnitřních povrchů dutých dielektrických trubic.
[A device for pulsed plasma coating of internal surfaces of hollow dielectric tubes.]
2018. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v .v. i. Date of the utility model acceptance: 25.07.2018. Utility model number: 31918
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TG02010056
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : hollow cathode * plasma * thin films * RF plasma * discharge
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/webapp/resdb.print_detail.det?pspis=PUV/34923&plang=CS
Nové technické řešení umožňuje plazmatické nanášení tenkých vrstev do dlouhé vodivé či elektricky nevodivé trubice.
The new technical approach provides possibility on thin film deposition into long conductive and electrically non-conductive films
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0292982
Number of the records: 1