Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů

0500945 - FZÚ 2021 RIV CZ cze V - Research Report
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Kšírová, Petra - Tvarog, Drahoslav
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů.
[Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films.]
Praha: IQ structures, 2018. 11 s.
R&D Projects: GA MPO FV20580
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : plasma * discharge * thin film * HiPIMS
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)

Zpráva popisuje hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozici optických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů s definovanými optickými vlastnostmi.

The report describes a hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films with defined optical properties.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0293030