Number of the records: 1
Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev
- 1.0494421 - ÚFP 2019 RIV CZ cze V - Research Report
Žídek, Karel
Zajištění plošné homogenity při depozici složitých systémů vrstev.
[Attaining surface homogeneity in the deposition of complex layer systems.]
CSL – Centre Spatial de Liège University of Liege, 2018. 7 s.
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1206
Institutional support: RVO:61389021
Keywords : thin layer deposition * deposition mask * surface homogeneity
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
V této zprávě popisujeme postup optimalizace depozice interferenčního filtru s cílem dosáhnout homogenní tloušťky vrstvy na co největším rozsahu deponované plochy. Za použití depoziční masky a rotace depoziční kaloty dosahujeme homogenity ± 0.5% pro vzorky do průměru 5 cm. Zkoumáme poté vliv naklonění substrátu a depozici na zakřivený povrch čočky na homogenitu deponované vrstvy.
We report on a procedure of optimization of a thin-film deposition process with respect to the best attainable layer homogeneity on a large deposited surface. By using a deposition mask and rotation of the deposition calotte, we reach the homogeneity of ± 0.5% for samples with the diameter up to 5 cm. Furthermore, we investigate the effect of substrate tilt and of a deposition on a curved lens surface with respect to homogeneity of the deposited layer.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0287991
Number of the records: 1