Analýza referenčních povrchových vad optických ploch za použití konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil

0490543 - ÚFP 2019 RIV CZ cze J - Journal Article
Špína, Michal - Procháska, František - Junek, Jiří - Malá, Kristýna
Analýza referenčních povrchových vad optických ploch za použití konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil.
[Analysis of reference surface imperfections of optical surfaces using a Confocal Microscopy, White Light Interferometry and Atomic Force Microscopy.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 63, č. 3 (2018), s. 81-84. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1206
Institutional support: RVO:61389021
Keywords : surface imperfections * Scratch and Dig analysis * optical surface evaluation * MIL-O13830 * Scratch and Dig standard * confocal microscopy * scanning microscopy * Scratch and Dig calibration
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

V současné době existuje velké množství různých metod pro charakterizaci povrchů. Každá metoda má své klady i zápory. Tento článek nabízí pohled na referenční povrchové vady optických ploch pomocí různých pozorovacích technik, a to skenovací konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle (WLI) a mikroskopie atomárních sil (AFM). Účelem je co nejkomplexnější pohled na morfologii a topografii defektů v trojrozměrném měřítku a porovnání s jejich optickými vlastnostmi.

Currently exists a large number of different methods for surface characterization. Each method has specific positives and negatives. This article offers a view at reference surface imperfections of optical surfaces using different observation techniques: scanning confocal microscopy, white light interferometry (WLI) and atomic force microscopy (AFM). Purpose of this is as complex as possible view to morphology and topography of defects in three-dimensional scale and comparison with their optical properties.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0285698