Number of the records: 1
Příprava germanidu a silicidu hořečnatého z odpadních surovin pro získávaní superčistých polovodičů, vodíku a CVD prekurzorů.
- 1.0485072 - ÚCHP 2018 CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Bumba, Jakub - Dytrych, Pavel - Kaštánek, František - Šolcová, Olga
Příprava germanidu a silicidu hořečnatého z odpadních surovin pro získávaní superčistých polovodičů, vodíku a CVD prekurzorů.
[Preparation of Magnesium Germanide and Silicide from Waste Materials for Ultra-Pure Semiconductors, Hydrogen and CVD Precursors Production.]
Sborník. Praha: Česká společnost chemického inženýrství, 2017, s. 48, č. článku A1.1. ISBN N.
[Konference chemického a procesního inženýrství - CHISA 2017 /64./. hotel Jezerka, přehrada Seč (CZ), 23.10.2017-26.10.2017]
R&D Projects: GA ČR GA15-14228S
Institutional support: RVO:67985858
Keywords : magnesium germanide * magnesium silicide * regeneration of semiconductors
OECD category: Chemical process engineering
.
.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0280176
File Download Size Commentary Version Access SKMBT_C22017112809372.pdf 22 596.8 KB Publisher’s postprint open-access
Number of the records: 1