Kryo-držák pro SEM umožňující zobrazování tenkých vzorků v transmisním módu s možností prvkové a katodoluminiscenční analýzy

0483558 - ÚPT 2018 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Krzyžánek, Vladislav - Skoupý, Radim - Hrubanová, Kamila - Vaškovicová, Naděžda
Kryo-držák pro SEM umožňující zobrazování tenkých vzorků v transmisním módu s možností prvkové a katodoluminiscenční analýzy.
[Cryo-SEM holder for imaging of thin samples in the transmission mode with elemental and cathodoluminescence analysis.]
Internal code: APL-2017-10 ; 2017
Technical parameters: Kryo-držák pro rastrovací elektronové mikroskopy (SEM) vybavené kryo-systémem typu Bal-Tec (Balzers, Lichtenštajnsko) a Leica microsystems (Vídeň, Rakousko) pro účely pozorování vzorků při velmi nízkých teplotách. Kryo-držák byl navržen pro pozorování velmi tenkých vzorků umístěných na TEM síťkách a to tak, aby bylo možné pozorování v transmisním módu pomocí retraktabilního STEM detektoru, který je umístěn pod vzorkem, a zároveň umožňoval studium vzorků pomocí detektoru pro energiově-disperzní analýzu paprsků rentgenového záření (EDX), nebo katodoluminiscenčního (CL) detektoru, které jsou umístěny nad vzorkem. Kryo-držák je navržen tak, aby jej bylo možné přenášet pomocí kryo-vakuového transferu VCT100 (Bal-Tec, Leica microsystems). Kryo-držák umožňuje pevné uchycení až čtyř TEM sítěk standardních rozměrů (průměr 3.05 mm) na konci ramene směřujícího od základny. Vzdálenost středu TEM sítěk od základny je 17 mm, což zaručuje použití pro většinu komerčně dostupných retraktabilních polovodičových STEM detektorů.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Vladislav Krzyžánek, Ph.D., vlk@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TG03010046; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : cryo-SEM * cryo-STEM * cryo-holder
OECD category: Electrical and electronic engineering

Držák velmi tenkých vzorků pro jejich zobrazování v rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM) v transmisním módu pomocí STEM detektoru a zároveň umožňující jejich analýzu pomocí EDX nebo CL detektoru. Veškerá pozorování/analýzy jsou možné v teplotním rozsahu od velmi nízkých (kryogenních) teplot po pokojovou teplotu.

A new holder for investigations of very thin specimens in a scanning electron microscope (SEM) in the transmission mode using a STEM detector, enabling analysis by EDX or CL detector. All investigations/analysis are possible in the temperature range from very low (cryogenic) temperatures to room temperature.


Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0278812