Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán

0482753 - ÚPT 2018 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Pikálek, Tomáš - Holzer, Jakub - Tinoco, H.A. - Buchta, Zdeněk - Lazar, Josef - Chlupová, Alice - Náhlík, Luboš - Sobota, Jaroslav - Fořt, Tomáš - Kruml, Tomáš
Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán.
[Interferometrical system for bulge test thin film characterization.]
Sborník příspěvků multioborové konference LASER57. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2017 - (Růžička, B.), s. 39-40. ISBN 978-80-87441-21-3.
[LASER57. Třešť (CZ), 08.11.2017-10.11.2017]
R&D Projects: GA MŠMT ED0017/01/01; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731 ; RVO:68081723
Keywords : interferometry * thin layers
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics); Optics (including laser optics and quantum optics) (UFM-A)

Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém.

Behavior of thin film materials undergoing stress and deformation differs from bulk materials. A common method for the mechanical characterization of thin films is nanoindentation based on indenting a small tip into the material. A different approach is a bulge test technique. In this method, a differential pressure is applied on a free-standing membrane and the mechanical properties (Young’s modulus and residual stress) are calculated from the shape of the bulged membrane. In our experiments, we developed an interferometrical system for the membrane shape measurement during the bulge test.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0278470