Number of the records: 1  

Laserová litografie

  1. 1.
    0476976 - FZÚ 2017 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Rus, Bedřich - Bakule, Pavel - Reyné, S. - Giambruno, F. - Nejdl, Jaroslav
    Laserová litografie.
    [Vacuum chamber suitable for Laser Printing.]
    Internal code: AV15007 ; 2015
    Technical parameters: Parametry čerpání: flow of ~ 1600 l/s with a DN250 (for VC1, VC3 and VC4) and one with a flow of ~ 3200 l/s with a DN320 (for VC2) from Oerlikon Leybold.
    Economic parameters: Funkční vzorek je v současné době využíván příjemcem. Pořizovací hodnota je cca. 50 000,- Kč bez DPH. Hlavním ekonomickým přínosem je nízká pořizovací cena díky optimalizaci tohoto funkčního vzorku.
    R&D Projects: GA MŠMT ED1.1.00/02.0061
    Grant - others:ELI Beamlines(XE) CZ.1.05/1.1.00/02.0061
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : laser cutting * patterning * litography
    Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

    Vakuové komory s podobnými parametry nacházejí využití v průmyslově využívaných aplikací s XUV svazky. Jedná se zejména o laserový tisk.


    The application of the developed oscillator is used in industries where high energy transfer (laser cutting, patterning, litography) is required.

    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0273377

     
     
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.