LHe/LN2 průtokový kryostat pro UHV SEM/SPM

0467487 - ÚPT 2017 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Hanzelka, Pavel - Urban, Pavel - Vlček, Ivan
LHe/LN2 průtokový kryostat pro UHV SEM/SPM.
[LHe/LN2 flow cryostat for UHV SEM/SPM.]
Internal code: APL-2016-07 ; 2016
Technical parameters: Průtokový kryostat byl navržen pro chlazení nosiče vzorků vyvíjeného UHV SEM/SPM mikroskopu v rámci Centra kompetence TAČR. Jako chladiva se používají kryokapaliny (kapalné helium – LHe nebo kapalný dusík – LN2). Kryostat sestává z přívodu LHe/LN2, dvou tepelných výměníků a měděných svazků pro tepelnou vazbu výměníků s chlazenými částmi mikroskopu. Proměnné teploty vzorku se dosahuje změnou průtoku chladiva. Spotřeba LHe při teplotě nosiče vzorku 25 K je asi 1l/h.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu a využívaný příjemcem s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Pavel Hanzelka, hanzelka@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TE01020233
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : flow cryostat
Subject RIV: JR - Other Machinery

LHe/LN2 kryostat slouží pro chlazení nosiče vzorků v UHV SEM/SPM mikroskopu. Jako chladivo se používá kapalné helium (LHe) nebo kapalný dusík (LN2). Kryostat je připojen k UHV komoře s mikroskopem. Kryostatu sestává ze vstupní a výstupní části, dvou tepelných výměníků v sériovém zapojení, které jsou uvnitř UHV komory. První tepelný výměník je tepelně spojen s chlazeným nosičem vzorků SPM mikroskopu prostřednictvím měděného svazku drátků. Druhý tepelný výměník na vyšší teplotě lze využít k chlazení tepelného štítu kolem SPM mikroskopu prostřednictvím druhého měděného svazku. Teploty nosiče vzorku 25 K lze dosáhnout při spotřebě LHe asi 1l/h.

The LHe/LN2 flow cryostat serves for cooling of a sample holder of an UHV SEM/SPM microscope using of liquid helium (LHe) or liquid nitrogen (LN2). The cryostat is attached to an UHV chamber with the microscope and is assembled from an inlet and outlet part and two heat exchangers embedded into the UHV chamber and connected in series. The first colder heat exchanger is thermally linked via a copper braid to the sample holder of SPM while the second heat exchanger at higher temperature can cool a radiation shield around the SPM through an another braid. The sample holder temperature of 25 K is achievable with LHe consumption of 1 litre/h.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0265582