Interferometrický systém pro souřadnicové odměřování

0467060 - ÚPT 2017 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Lazar, Josef - Hrabina, Jan - Holá, Miroslava - Číp, Ondřej - Čížek, Martin - Úlehla, L.
Interferometrický systém pro souřadnicové odměřování.
[Interferometric system for coordinate measurement.]
Internal code: APL-2016-03 ; 2016
Technical parameters: Pracovní vlnová délka: 532 nm, relativní stabilita vlnové délky zdroje: 10-8, rozlišení 130 pm, měření odrazem od: rovinného zrcadla, počet měřicích os: 1 až 6, kompenzace vlivu indexu lomu vzduchu: ano
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu. Je uzavřena smlouva o využití výsledku s firmou Meopta – optika, s. r. o. (IČ 47677023) s dohodnutým rozdělením výnosů. Kontakt: prof. Ing. Josef Lazar, Dr., joe@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TA02010711
Keywords : laser * interferometry * metrology
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

Předmětem výsledku je interferometrický systém pro velmi přesná odměřování polohy v souřadnicových systémech. Systém nalezne uplatnění především v nanotechnologiích, pro nanodiagnostiku, litografii, metrologickou elektronovou, nebo sondovou mikroskopii, ap. Základem je dvousvazkový interferometr pro měření v jedné ose odrazem od rovinného zrcadla. Interferometr využívá plně křemennou optiku s velmi dobrou teplotní stabilitou a spojováním prvků na optický kontakt. Řešení interferometrické jednotky je kompaktní s optovláknovým rozvodem světla a integrovaným detekčním systémem využívajícím optického homodynního principu. Použití více jednotek pro více měřicích os je umožněno výkonovou rezervou laseru a optovláknovým děličem s příslušným počtem výstupů, vše využívající optických vláken zachovávajících polarizaci. Zdrojem záření je kompaktní stabilizovaný Nd:YAG laser se zdvojnásobením vlnové délky. Systém disponuje kompenzací vlivu indexu lomu vzduchu nepřímou metodou vycházející z měření základních parametrů atmosféry.

This result is represented by an interferometric system for highly precise coordinate displacement measurements. The system will find its applications primarily in nnaotechnologies, for nanodiagnostics, lithography, metrology electron or local probe microscopy, etc. The basis is a two-beam interferometer for measurement in one axis and through reflection from plane mirror. The interferometer uses fully quartz optics with a very good thermal stability and joining of the components by optical contacting. The design of the interferometric unit is a compact one with fiber-optic light delivery and integrated optical detection system based on a homodyne principle. The use of more units for more measuring axes is possible thanks to substantial power of the laser and fiber-optic splitter with adequate number of outputs, all using polarization maintaining fibers. The light source is a compact Nd:YAG laser with frequency doubling. The system is equipped with compensation of the influence of refractive index of air through indirect method based on measurement of the parameters of atmosphere.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0265202