Interferometrický systém pro diferenční měření

0467051 - ÚPT 2017 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Lazar, Josef - Hrabina, Jan - Holá, Miroslava - Číp, Ondřej - Čížek, Martin - Oulehla, Jindřich
Interferometrický systém pro diferenční měření.
[Interferometric system for differential measurement.]
Internal code: APL-2016-02 ; 2016
Technical parameters: Pracovní vlnová délka: 532 nm, relativní stabilita vlnové délky zdroje: 10-8, rozlišení 130 pm, měření odrazem od: rovinného zrcadla, počet měřicích os: 1 diferenční, kompenzace vlivu indexu lomu vzduchu: ano
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu. Je uzavřena smlouva o využití výsledku s firmou Meopta – optika, s. r. o. (IČ 47677023) s dohodnutým rozdělením výnosů. Kontakt: prof. Ing. Josef Lazar, Dr., joe@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TA02010711
Keywords : laser * interferometry * metrology
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

Předmětem výsledku je interferometrický systém pro velmi přesná diferenční odměřování polohy, resp. rozdílů délky. Systém nalezne uplatnění především v aplikacích typu měření dilatací, kalibrací snímačů polohy, měření délkových deformací vzorků, včetně dynamických měření, ap. Optické řešení diferenčního interferometru zachovává Abbého princip díky identitě měřicí a referenční osy měření. Toho je dosaženo díky symetrické čtyřsvazkové optické konfiguraci. Měření probíhá odrazem od dvou kocentrických rovinných zrcadel. Řešení interferometrické jednotky je kompaktní s optovláknovým rozvodem světla a integrovaným detekčním systémem využívajícím optického homodynního principu. Zdrojem záření je kompaktní stabilizovaný Nd:YAG laser se zdvojnásobením vlnové délky. Systém disponuje kompenzací vlivu indexu lomu vzduchu nepřímou metodou vycházející z měření základních parametrů atmosféry.

This result is represented by an interferometric system for highly precise differentil displacement, resp. length difference measurements. The system will find its applications primarily in applications like measurement of dilatations, calibrations of the displacement sensors, measurement of length deformations of samples including dynamic measurements, etc. The optical design of the differential interferometer preserves the Abbe principle thanks to the identity of the measuring and reference axes of measurement. This is achieved through symmetric four-beam optical configuration. The measurement is performed by reflection from two co-centric plane mirrors. The design of the interferometric unit is a compact one with fiber-optic light delivery and integrated optical detection system based on a homodyne principle. The light source is a compact Nd:YAG laser with frequency doubling. The system is equipped with compensation of the influence of refractive index of air through indirect method based on measurement of the parameters of atmosphere.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0265193