Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek

0457255 - FZÚ 2016 RIV CZ cze V - Research Report
Olejníček, Jiří
Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek.
[Plasma preparation of thick metal layers for mechanical engraving of blazed diffraction gratings.]
Praha: API Optix s.r.o., 2015. 4 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : magnetron sputtering * thin films * surface properties
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Smluvní výzkum byl zaměřen přípravu a optimalizaci procesu depozice vybraných tlustých kovových vrstev o tloušťce 5 až 10 µm na leštěné skleněné substráty. Ze strany zadavatele byl kladen důraz zejména na mechanické vlastnosti vrstev: adheze, porozita, homogenita, tvrdost a časová stálost.

Contract research was focused on preparation and optimization of the deposition process of the selected thick metal layers with a thickness 5 to 10 microns on a polished glass substrates. The emphasis was mainly on the mechanical properties of films: adhesion, porosity, homogeneity, hardness and time stability.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0257670