Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

0452397 - ÚPT 2016 RIV CZ cze J - Journal Article
Lazar, Josef - Holá, Miroslava - Hrabina, Jan - Oulehla, Jindřich - Číp, Ondřej - Vychodil, M. - Sedlář, P. - Provazník, M.
Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii.
[Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 14-17. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA ČR GB14-36681G; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TA01010995; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : interferometry systems * dimensional measurement * nanometrology
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů pro dimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní pevnolátkový, frekvenčně stabilizovaný laser na referenci v podobě přechodu v molekulárním jódu a v souvislosti s tím také technologii přípravy jodových kyvet pro stabilizaci laseru. Základní uspořádání interferometru bylo sestaveno a testováno. Podnik Meopta - optika, s.r.o. přispívá vývojem nové technologie a návrhem stroje pro opracování vysoce přesných optických komponent rovinné optiky.

We report on the results of the common collaborative project of applied research where the Institute of Scientific Instruments (ISI) of the Academy of Sciences of the Czech Republic and a company Meopta – optika joined their effort in development of high-precision interferometric systems for dimensional metrology and nanometrology. This research exploits previous results in the field of laser standards of optical frequencies and the methodology of interferometric metrology of length together with detection systems of interference signals and their processing at the ISI and the production technology of precise optical components at Meopta – optika. The main aim of the project is a design of a complex interferometric measuring system in a form of a prototype serving as a master for further production. It concept is a modular family of components configurable for various arrangements primarily for multi-axis measurements in nanotechnology and surface inspection. Within this project we developed a compact, solid-state frequency stabilized laser referenced to iodine transitions and technology of iodine cells for laser frequency stabilization. A fundamental setup of the laser interferometer has been arranged and tested. The company Meopta – optika contributes with development of new technology together with a design of a machine for processing and polishing of high-precision flat-surface optical components.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0253412