Povlakování vnitřních povrchů mikrovlnných vlnovodů užitím plazmových technologií

0450784 - FZÚ 2016 RIV CZ cze A - Abstract
Bulíř, Jiří - Novotný, Michal - Pokorný, Petr - Lančok, Ján - Rouček, V. - Veselý, J. - Dražan, L.
Povlakování vnitřních povrchů mikrovlnných vlnovodů užitím plazmových technologií.
[Deposition of functional coatings in the microwave waveguide by the plasmatic technology.]
Pravidelné setkání zájemců o mikrovlnnou techniku. Referáty přednesené na 41. semináři. Praha: Česká elektrotechnická společnost, 2014.
[Pravidelné setkání zájemců o mikrovlnnou techniku /41./. 19.11.2014-19.11.2014, Praha]
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TA03010490
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : microwave waveguide * magnetron sputtering
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

Kvalita mikrovlnných vlnovodů je dána elektrickými vlastnostmi tenkých vrstev nanesených na vnitřních stěnách vlnovodů. V předkládané práci je prezentována depoziční metoda, která slouží k pokrývání vnitřních stěn vlnovodů.Tato metoda je založena na principu magnetronového naprašování. Aby bylo možné povlakovat dutiny malých průřezů a značných délek, bylo nutné tuto metodu do značné míry modifikovat.Pro naše experimenty byly využity vlnovody pro pásmo 8,2 – 12,4 GHz o typických rozměrech dutiny 10,2 x 22.9 mm2 a délky 250 mm. Vnitřní stěny vlnovodů byly pokryty 1 um tenkou vrstvou stříbra. Homogenní tloušťka povrchů byla kontrolována řízeným pohybem magnetu v podélném směru povlakové dutiny.

The quality of microwave waveguide components is determined by the electrical properties of the thin sub-surface layer of the waveguide inner walls. In this work we present a deposition apparatus for coating of inner walls of the waveguide components. This apparatus uses principles of magnetron sputtering method. Nevertheless, the design of the apparatus has been significantly modified because of low transverse dimensions and significant length of the waveguide. For experiments, we used waveguides for band 8.2 to 12.4 GHz with cross-section dimensions 10.2 x 22.9 mm2 and length 250 mm. The inner walls of the waveguide were coated by 1 um of silver layer. The thickness uniformity of the coating was controlled by continuous movement of the magnetic field along the waveguide.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0251991