Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

0448124 - FZÚ 2016 RIV cze P1 - User Module
Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Kromka, Alexander
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů.
[Hybrid plasma nozzle with surface wave for exciting extremely reactive discharges.]
2015. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 14.07.2015. Utility model number: 28463
R&D Projects: GA MŠMT LH12045; GA TA ČR TA03010743
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : sufatron * plasma technology * discharge plasma
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0028/uv028463.pdf

Technické řešení spadá do oblasti generace nízkoteplotních plazmových výbojů za účelem jejich následného využití v technologických aplikacích. Jedná se zejména o depozice funkčních tenkých vrstev s využitím plazma chemických reakcí v aktivní zóně generovaného výboje. Oblast řešení je zaměřena na konstrukci plazmové trysky využívající pro buzení plazmatu povrchovou vlnu, která umožňuje generování výbojů s velkou koncentrací reaktivních plynů, např. O2, N2, H2, C2H2, CH4 a dalších, a to v širokém rozsahu tlaků.

Technical solutions belong to area of generation of low-temperature plasma discharges for technological application. It is namely thin film deposition using plasma-chemical reaction in active area of generated discharge. Solution is focused on construction of plasma nozzle using surface wave for plasma excitation that enables generation of discharges with high concentration of reactive gases like O2, N2, H2, C2H2, CH4 and others in a wide range of pressure.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0249847