SMV-2012-16: Scintilační detektor zpětně odražených elektronů pro SEM

0426274 - ÚPT 2014 RIV CZ cze V - Research Report
Neděla, Vilém
SMV-2012-16: Scintilační detektor zpětně odražených elektronů pro SEM.
[SMV-2012-16: Scintillation detector of backscattered electrons lor SEM.]
Brno: Ing. Roman Autrata, 2012. 13 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : scintillation single crystal detector * BSE * SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Dle požadavků objednatele byl vyvinut speciální detektor skládající se z výsuvné mechaniky ovládané motorem a řízené počítačem, speciální světlovod z materiálu, jehož spektrální propustnost vyhovuje použitému scintilačnímu monokrystalu a scintilační monokrystal s indium tin oxide vrstvami pro odvedení povrchového náboje při detekci v elektronovém mikroskopu.

The unique backscattered electron detector comprising a motor guided retractable mechanism controlled with microprocessor, a special light guide (from a material whose spectral transmittance satisfies used scintillation single crystal) and a scintillation single crystal with indium tin oxide layers (to removing of surface charge created during detection in electron microscope) was produced according to specific requirements of a customer.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0232037