Number of the records: 1
SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM
- 1.0426267 - ÚPT 2017 RIV CZ cze V - Research Report
Matějka, Milan - Kolařík, Vladimír - Urbánek, Michal - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Horáček, Miroslav - Král, Stanislav
SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM.
[SMV-2012-12: Testing specimens for SEM.]
Brno: TESCAN ORSAY HOLDING, a.s, 2012. 5 s.
Source of funding: N - Non-public resources
Keywords : dimensional standard * e-beam lithography * e-beam microscopy * anisotropic Silicon etching
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém čipu. Využití pro testování metriky elektronových rastrovacích mikroskopů a kalibrací zorného pole. Čip je připraven pomocí elektronové litografie a dalších technik.
Research and development in the field of relief testing structures on Silicon wafer. The specimen is to be used for testing of metrics of scanning electron microscopes (SEM) as well as for the calibration of the SEM view of field. The samples are prepared by means of electron-beam lithography and related techniques.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0232003
Number of the records: 1