Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev

0423138 - ÚPT 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Fořt, Tomáš - Dupák, Libor - Sobota, Jaroslav - Neděla, Vilém - Kapounek, Petr - Dupák, Jan - Krejčí, J.
Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev.
[New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers.]
Internal code: APL-2013-13 ; 2013
Technical parameters: Aparatura s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.
Economic parameters: Nová naprašovačka vyvinutá v rámci řešení grantu, která umožňuje nanášení DLC vrstev. Senzory opatřené těmito vrstvami by měly zvýšit obrat firmy o 10 000 EUR-ročně. Výsledek využije příjemce projektu. Kontakt: Ing. Vilém Neděla, PhD., vilem@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/118
Keywords : electrochemical sensors * DLC * B-DLC
Subject RIV: JB - Sensors, Measurment, Regulation

Byla dokončena replika nové naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.

It was constructed a new replica of sputtering device with the ability to connect multiple types of gases and several targets in order to generate DLC layers donated with boron of fluor. New sputtering device was designed for industry application.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0229220