Funkční vzorek elektrochemických senzorů s deponovanou B-DLC vrstvou tlustou 885nm a obsahem boru 24hmotnostních procent

0423126 - ÚPT 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Fořt, Tomáš - Kučerová, R. - Neděla, Vilém - Krejčí, J.
Funkční vzorek elektrochemických senzorů s deponovanou B-DLC vrstvou tlustou 885nm a obsahem boru 24hmotnostních procent.
[Functional samples of electrochemical sensors with deposited B-DLC layer (thickness 885nm contained 24 weight percent of boron).]
Internal code: APL-2013-01 ; 2013
Technical parameters: Jedná se jeden z finálních výsledků projektu, u něhož byla naměřena tloušťka B-DLC vrstvy 885nm a metodou energiově disperzní prvkové analýzy byl prokázán obsah bóru ve vrstvě kolem 24 hmotnostních procent.
Economic parameters: Funkční vzorek nutný pro další vývoj, který byl realizovaný při řešení grantu. Nový typ senzoru, cena 5 - 10 EUR/kus. Předpokládaná výroba 100 – 10 000 Ks/ rok. V nejbližší době se předpokládá náběh výroby v cca 100 Ks/rok. Výsledek využije příjemce projektu. Kontakt: Ing. Vilém Neděla, PhD., vilem@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/118
Keywords : electrochemical sensors * DLC * B-DLC
Subject RIV: JB - Sensors, Measurment, Regulation

Finální funkční vzorek elektrochemického senzoru s B-DLC vrstvou tlustou 885nm nanesenou na pracovní elektrodu. Funkční vzorek byl připraven na speciálním naprašovacím zařízení, které umožňuje připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, případně fluorem dopované DLC vrstvy. Při vývoji funkčního vzorku byly optimalizovány vlastnosti B-DLC vrstev v podmínkách nové aparatury.

Functional sample of electrochemical sensor equipped with 885nm thick B-DLC layer deposited on working electrode. Functional samples were prepared on special device for sputtering, that allows connect multiple types of gases and several targets in order to produce boron or fluorine doped DLC layers.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0229232