Nová naprašovací aparatura pro depozici B-DLC vrstev

0387557 - ÚPT 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Fořt, Tomáš - Sobota, Jaroslav - Neděla, Vilém - Dupák, Libor - Kapounek, Petr - Dupák, Jan
Nová naprašovací aparatura pro depozici B-DLC vrstev.
[New sputtering equipment for depositing B-DLC layers.]
Internal code: UPT 2012/22 ; 2012
Technical parameters: Byl realizován prototyp nová naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy.
Economic parameters: Prototyp realizovaný v rámci řešení grantu a mnohanásobně ověřený při výrobě senzorů. Předpokládá se průmyslové využití.
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/118
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electrochemical sensors * DLC * B-DLC
Subject RIV: JB - Sensors, Measurment, Regulation

Byla dokončena nová naprašovací aparatura s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy.

It was constructed a new sputtering device with the ability to connect multiple types of gases and several targets in order to generate DLC layers donated with boron of fluor.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0216745