Funkční vzorek senzoru s deponovanou tlustou vrstvou C

0387555 - ÚPT 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Sobota, Jaroslav - Kučerová, R. - Neděla, Vilém - Rek, Antonín - Krejčí, J.
Funkční vzorek senzoru s deponovanou tlustou vrstvou C.
[Functional sample of sensor with a deposited thick layer of C.]
Internal code: UPT 2012/18 ; 2012
Technical parameters: Realaizovaný funkční vzorek s parametry: Senzor typu AC1, jehož pracovní elektroda je tvořena z Pt nebo Au tiskem. Rozměry 7.26 X 25.4 X 0.6mm. Tištěná vrstva je přikryta vrstvou nedopovaného DLC.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný v rámci řešení grantu. Nový typ senzoru cena 5 - 10 EUR/kus. Předpokládaná výroba 100 – 10 000 Ks/ rok. V nejbližší době se předpokládá náběh výroby v cca 100 Ks/rok.
R&D Projects: GA MPO FR-TI1/118
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electrochemical sensors, DLC * DLC * B-DLC
Subject RIV: JB - Sensors, Measurment, Regulation

Za účelem studia vodivosti povrchu elektrochemických senzorů byla vytvořena série dvou a pěti funkčních vzorků senzorů s velmi tlustou vrstvou uhlíku. Senzory byly testovány metodou cyklické voltametrie. Experiment je navázán na dříve odzkoušené depozice (rok 1994) DLC dopovaného dusíkem a kyslíkem s výrazně nižším pnutím, než samotné DLC. Byla zde ověřena možnost vytvářet dopované DLC v tloušťkách stovek nm bez delaminace, zejména u systému dopovaného vodíkem, kde je možné uvažovat až o mikronové tloušťce.

To study conductivity of surface of electrochemical sensors were created a series of two and five functional samples with very thick layer of carbon. These sensors were tested using cyclic voltametry. Experiment is linked to the previously tested depositions (1994) of DLC doped with nitrogen and oxygen with tension significantly lower than the actual DLC. There was verified the possibility to create doped DLC with thickness of hundreds of nm without delamination, especially in the system doped with hydrogen, where is possible to consider a micron thickness.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0216741