Detektor krystalografického kontrastu s vysokým rozlišením pro zobrazování velmi pomalými elektrony

0379940 - ÚPT 2012 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk - Klein, Pavel - Sýkora, Jiří
Detektor krystalografického kontrastu s vysokým rozlišením pro zobrazování velmi pomalými elektrony.
[Detector of high resolution crystallographic contrast for the imaging with very low energy electrons.]
Internal code: BSE13 ; 2012
Technical parameters: Detektor krystalografického kontrastu pro zobrazování v rastrovacím elektronovém mikroskopu s velmi pomalými elektrony, který má vysokou sběrovou účinnost pro široký úhlový rozsah signálních elektronů.
Economic parameters: Funkční vzorek laboratorního zařízení nutného pro další vývoj, který byl realizovaný při řešení grantu s předpokladem budoucího komerčního využití v zařízení, jehož je součástí.
R&D Projects: GA MPO FR-TI3/323
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning low energy electron microscopy * crystallographic contrast
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Detektor krystalografického kontrastu pro ultravysokovakuovou aparaturu rastrovacího elektronového mikroskopu s velmi pomalými elektrony má vysokou sběrovou účinnost pro velký rozsah úhlů emitovaných signálních elektronů. Umožňuje zobrazování s vysokým laterálním rozlišením a vysokým zesílením i za nízkých energií primárního svazku. Scintilační monokrystal ve tvaru disku o průměru 9 mm je opatřen centrálním otvorem o průměru 300 .mu.m, jímž prochází primární svazek elektronů. Detektor je přesně polohovatelný ve všech třech osách.

Detector of crystallographic contrast for the ultra high vacuum scanning low energy electron microscope has a high collection efficiency for a large range of signal electron emission angles. It allows imaging with a high lateral resolution and high gain even at low energies of the primary beam. The scintillation single crystal with a diameter of 9 mm has a 300 .mu.m central bore through which the primary beam passes. The detector is precisely positionable in all three axes.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0210786