Interferometrické jednotky s kompenzací teplotních vlivů

0355884 - ÚPT 2011 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Hrabina, Jan
Interferometrické jednotky s kompenzací teplotních vlivů.
[Interferometric units with compensation of thermal effects.]
Internal code: 201002 ; 2010
Technical parameters: Funkční vzorek realizovaný v rámci řešení grantu: apertura 4 mm, rozlišení sub nm, pracovní vlnová délka 633 nm, 532 nm
Economic parameters: Funkční vzorek využívaný příjemcem grantu s možností dalšího šíření.
R&D Projects: GA AV ČR KAN311610701; GA ČR GA102/09/1276
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : interferometry * nanometrology
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

Interferometrické jednotky jsou určeny pro provoz v nanometrologických aplikacích, pro odměřování malých vzdáleností s co nejvyšším rozlišením a přesností. Koncepce jednotek je založena na důsledné kompenzaci teplotních délkových změn v referenční a měřicí větvi a v referencování vztažného bodu vůči základně. Jednotky jsou vybaveny optovláknovým vstupem a integrovanou homodynní detekční soustavou.

Interferometric units are designed to operate in nanometrologic applications for measurement of small displacements with high resolution and overall precision. The design of units is based on careful compensation of thermal length dilatations in the reference and measuring arm and on referencing the unit towards the base. Units are equipped with fiberoptic input and integrated homodyne detection system.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0194553