Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty

0353917 - ÚFM 2011 RIV CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Kuběna, Ivo - Kruml, Tomáš
Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty.
[Nanocompression of oriented pillars from Al thin film.]
Engineering Mechanics 2010. Prague: Institute of Thermomechanics AS CR, v. v. i., 2010 - (Zolotarev, I.), čl. 012. ISBN 978-80-87012-26-0.
[ENGINEERING MECHANICS 2010. Svratka (CZ), 10.05.2010-13.05.2010]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20410507
Keywords : nanocompression * thin Al film * focused ion beam
Subject RIV: JJ - Other Materials

Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích.

In this paper, a new method of measurement of mechanical properties of thin films is presented. This method combines specimen preparation by focused ion beam (FIB) and compression test using nanoindentation device. Compression specimens were prepared from thin film, Al-1.5%Cu, which is commonly used in integrated circuit. Cylindrical specimens were prepared by FIB milling. The height of specimens (pillars) was about 2 mircrometers (equal to the film thickness) and their diameter was about 1.3 micrometers. The pillars are single crystalline, therefore the results depend on crystallographic orientation of pillar, which was specified by EBSD (electron backscatter diffraction). Stress-strain curves of the thin film were obtained in two representations.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0193030