Fourier transform photocurrent measurement of thin silicon films on rough, conductive and opaque substrates

0338185 - FZÚ 2010 RIV NL eng A - Abstract
Holovský, Jakub - Ižák, T. - Poruba, Aleš - Vaněček, Milan - Hamers, E.A.G.
Fourier transform photocurrent measurement of thin silicon films on rough, conductive and opaque substrates.
[Fourierovské fotovodivostní měření tenkých vrstev amorfního křemíku na hrubých opticky neprůhledných a vodivých substrátech.]
ICANS23 - 23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystaline Semiconductors. Book of Abstracts. Utrecht: Utrecht University, 2009. s. 332-332. ISBN N.
[International Conference on Amorphous and Nanocrystaline Semiconductors /23./ (ICANS23). 23.08.2009-28.08.2009, Utrecht]
R&D Projects: GA ČR GA202/09/0417
EU Projects: European Commission(XE) 38885 - SE-POWERFOIL
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521
Keywords : thin film silicon * photoconductivity * optical modeling
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

Fourier transform photocurrent spectroscopy (FTPS) is used as an inspection method for thin films of hydrogenated amorphous silicon deposited on aluminium foil and aluminium foil coated with rough SnO2. These structures are part of roll-to-roll solar cell fabrication process. Measurement technique utilizes transparent electrode in a sandwich arrangement. An elaborate calculation procedure is used to correct the measurement for the optical effects in order to obtain spectra of optical absorption coefficient. Correction procedure is based partly on analytical formulae and partly on Monte-Carlo simulations. We compared quality of thin layers deposited by PECVD on glass and aluminium foil with and without rough layer of SnO2. We observed positive effect of aluminium and SnO2 on layer quality and effect of bandgap shift.

Fourierovské fotovodivostní spektroskopie (FTPS) je použita jako analytická metoda pro tenké vrstvy hydrogenovaného amorfního křemíku na hliníkové fóili a na hliníkové fólii pokryté vrstvou vodivého oxidu. Měřící technika používá vodivou průhlednou elektrodu v sendvičovém uspořádání. Náročná výpočetní procedura založená na Monte-Carlo přístupu je použita pro korekci měření na optické efekty za účelem získání spektra absorpčního koeficientu. Byla srovnána kvalita tenkých vrstev nanesených metodou PE-CVD na sklo, hliník a hliník pokrytý vodivým oxidem a byl pozorován pozitivní efekt hliníku na kvalitu vrstve a efekt vodivého oxidu na posuv absorpční hrany.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0182026