Polovodičový detektor pomalých elektronů prošlých vzorkem

0336638 - ÚPT 2010 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Müllerová, Ilona - Hovorka, Miloš - Klein, Pavel
Polovodičový detektor pomalých elektronů prošlých vzorkem.
[Semiconductor detector of slow electrons transmitted through the specimen.]
Internal code: 5511-1 ; 2009
Technical parameters: Detektor velmi pomalých elektronů prošlých vzorkem se záběrem celé vyzařovací charakteristiky +-90 deg od normály povrchu, rozměr detektoru 5x5 mm, PIN struktura, 100% sběrová účinnost, zesílení až 3000x i při energii elektronů pod 1 eV.
Economic parameters: Funkční vzor je možné zavést do každého rastrovacího mikroskopu se vzorkem na vysokém potenciálu a realizovat tak režim STEM s velmi nízkou energií.
R&D Projects: GA AV ČR IAA100650902
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : very low energy STEM * cathode lens
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Polovodičový PIN detektor velmi pomalých prošlých elektronů v rastrovacím mikroskopu s katodovou čočkou, tj. vzorkem na vysokém záporném potenciálu. Detektor zachycuje celou vyzařovací charakteristiku prošlých elektronů urychlených z velmi nízké energie průchodu vzorkem na původní primární energii svazku v řádu keV polem mezi vzorkem a detektorem a tím zajišťuje absolutní sběrovou účinnost.

Semiconductor detector of the PIN type for detection of very slow transmitted electrons in a scanning microscope with the cathode lens, i.e. with the sample biased to a high negative potential. Detector acquires the complete angular distribution of the transmitted electrons accelerated from their very low energy of transmission through the sample to the original primary beam energy in the order of keV, namely by means of the electric field between the sample and detector, securing hence the absolute collection efficiency.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180830