Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films

0336533 - FZÚ 2010 RIV CH eng J - Journal Article
Suchaneck, G. - Volkonskiy, O. - Gerlach, G. - Hubička, Zdeněk - Dejneka, Alexandr - Jastrabík, Lubomír - Kiselev, D. - Bdikin, I. - Kholkin, A.
Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films.
[Piezoelektrické tenké vrstvy PZT na flexibilních mědí pokrytých polymerních foliích.]
Materials Science Forum. 636/637, - (2010), s. 392-397. ISSN 0255-5476
R&D Projects: GA ČR GC202/09/J017; GA AV ČR KJB100100703
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : plasma jet deposition * PZT * kapton® film substrate * piezoresponse force microscopy
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

This work analyzes the processing of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly on copper-coated polymer films. PZT thin film deposition was performed onto the metallized Kapton® films using a single RF plasma jet. In order to reduce the interaction of PZT and Cu during the initial growth stage, an ultrathin amorphous TiOx seeding layer was sputter-deposited prior to PZT deposition.Topography and piezoelectric response of the films were evaluated using a commercial AFM adapted for piezoforce measurements.The as-deposited films were self-polarized with a piezoelectric hysteresis.

V práci je analyzován postup přípravy Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) tenkých vrstev přímo na polymerní fólie pokryté mědí.S využitím technologie RF plazmové trysky byly deponovány vrstvy PZT na metalizované kaptonové fólie.Z důvodů omezení vzájemné interakce mezi PZT a Cu v počátečním stadiu růstu , byla před vlastním procesem depozice PZT naprášena ultratenká zárodečná vrstva amorfního TiOx.Pro určování topografie a piezoelektrické odezvy připravovaných vrstev byl využit komerční AFM adaptovaný pro piezoelektrická měření.Deponované vrstvy byly "samopolarizované" a vykazovaly piezoelektrickou hysterezi.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0180745