Enhancing nanocrystalline diamond surface conductivity by deposition temperature and chemical post-processing

0332489 - FZÚ 2010 RIV DE eng J - Journal Article
Kozak, Halyna - Kromka, Alexander - Ledinský, Martin - Rezek, Bohuslav
Enhancing nanocrystalline diamond surface conductivity by deposition temperature and chemical post-processing.
[Zvýšení povrchové vodivosti nanokrystalického diamantu depoziční teplotou a chemickým opracováním.]
Physica Status Solidi A. Roč. 206, č. 2 (2009), 276-280. ISSN 1862-6300. E-ISSN 1862-6319
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LC06040; GA AV ČR KAN400100701; GA MŠMT LC510; GA AV ČR KAN400100652
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521
Keywords : nanocrystalline diamond films * surface conductivity * non-diamond phase * AFM * Raman spectroscopy
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 1.228, year: 2009

The surface conductivity of nanocrystalline diamond (NCD) films as a function of deposition temperature and chemical post-processing was characterized by current-voltage measurements using co-planar Au electrodes. Raman spectroscopy was applied to investigate the bulk quality of NCD films. The surface material properties and morphology were studied using atomic force microscopy (AFM). The results indicate that the chemical post-processing of as-grown NCD films and re-hydrogenation leads to a significant increase in the surface conductivity by three orders of magnitude. The highest surface conductivity was obtained on NCD films deposited at 600°C.

Povrchová vodivost nanokrystalických diamantových vrstev jako funkce depoziční teploty a chemického opracování byla studována pomoci měřeni volt-ampérových charakteristik s použitím Au elektrod. Objemové vlastnosti nanokrystalického diamantu byly studovány Ramanovou spektroskopii. Povrchové vlastnosti a morfologie byly studovány použitím mikroskopie atomárních sil (AFM). Výsledky ukazují, že chemické opracování nanokrystalických diamantových vrstev s následnou hydrogenací zvyšuji povrchovou vodivost nanokrystalického diamantu o 3 řady. Nejvyšší povrchová vodivost byla dosazena pro vzorek deponovaný při teplotě 600°C.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0177739