Space resolved optical emission spectroscopy during deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double hollow cathode plasma Jet system

0326764 - FZÚ 2010 RIV CH eng J - Journal Article
Olejníček, Jiří - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Virostko, Petr - Kment, Štěpán - Adámek, Petr - Jastrabík, Lubomír - Dejneka, Alexandr
Space resolved optical emission spectroscopy during deposition of Ba_xSr_1-xTiO₃ thin films by double hollow cathode plasma Jet system.
[Prostorově rozlišená optická emisní spektroskopie během depozice tenkých vrstev Ba_xSr_1-xTiO₃ pomocí dvojtryskového plazma-jet systému.]
Materials Science Forum. Roč. 609, - (2009), s. 105-109. ISSN 0255-5476.
[International Conference on Thin Films and Porous Materials /1./. Algiers, 19.05.2008-22.05.2008]
R&D Projects: GA ČR GA202/08/1009; GA AV ČR KJB100100707; GA AV ČR KAN301370701; GA MŠMT(CZ) 1M06002
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : Ba_xSr_1-xTiO₃ * BSTO * ferroelectric films * hollow cathode * optical emission spectroscopy
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

Pulse modulated double hollow cathode RF plasma jet system with two separate independent nozzles made of BaTiO3 (BTO) and SrTiO₃ (STO) was used for deposition of BSTO thin films on Si and on multi-layer Si/SiO2/TiO2/Pt substrates. Space resolved optical emission spectroscopy (OES) was used mainly for monitoring of concentration of particles sputtered from the hollow cathode and for feedback correction of power supplied in both nozzles because applied power was responsible for sputtering speed of Ba and Sr particles. Main attention was focused on relation between ratio of spectral intensity of Ba, Ba+, Sr and Sr+ lines close to substrate and ratio of Ba and Sr concentration in the deposited film. 2D map of emission lines intensity distribution for Ba, Ba+, Sr, Sr+, Ti, Ar, and Ar+ for double hollow cathode plasma jet system with BTO and STO nozzles was created.

Pulzně modulovaný dvojtryskový systém s nezávislými RF dutými katodami z BaTiO3 (BTO) a SrTiO3 (STO) keramiky byl použit pro depozici tenkých vrstev BSTO na Si a vícevrstvý Si/SiO2/TiO2/Pt substrát. Koncentrace částic rozprášených z obou dutých katod byla měřena pomocí prostorově rozlišené optická emisní spektroskopie (OES), která byla též využita pro zpětnovazebnou korekci výkonů aplikovaných na obě trysky neboť tento výkon je zodpovědný za rychlost rozprašování částic Ba a Sr. Hlavní pozornost byla zaměřena na intenzity spektrálních čar Ba, Ba+, Sr and Sr+ v blízkosti substrátu a poměr koncentrací Ba a Sr ve výsledné vrstvě. Byla vytvořena 2D mapa distribuce spektrálních intenzit čar Ba, Ba+, Sr, Sr+, Ti, Ar, a Ar+.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0173768