Floating Power Supply for Specimen Bias in Scanning Electron Microscope

0325106 - ÚPT 2009 CZ eng A - Abstract
Horáček, Miroslav - Zobač, Martin - Vlček, Ivan
Floating Power Supply for Specimen Bias in Scanning Electron Microscope.
[Plovoucí zdroj pro předpětí vzorku v REM.]
Mikroskopia 2009. Brno: Tribun EU, 2009. s. 24. ISBN 978-80-7399-739-7.
[Mikroskopia 2009. 25.03.2009-26.03.2009, Stará Lesná]
R&D Projects: GA AV ČR IAA100650803
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : floating power supply * scanning electron microscope
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The retarding potential between the specimen and an anode, a cathode lens, is already commonly used for high resolution imaging at very low electron beam energies even below 10 eV in a SEM. The high voltage power supply for the specimen offset should be designed as a floating power supply connected to the high voltage level of the supply for the electron gun.

Uspořádání s brzdícím potenciálem mezi vzorkem a anodou, tzv. katodová čočka, je běžně používáno pro zobrazení v REM. Vysokonapěťový zdroj pro předpětí vzorku by měl být konstruován jako plovoucí opřený o potenciál zdroje pro katodu.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0172632