Langmuir probe diagnostics of a plasma jet system

0325016 - FZÚ 2009 RIV GB eng J - Journal Article
Tichý, M. - Hubička, Zdeněk - Šícha, Miloš - Čada, Martin - Olejníček, Jiří - Churpita, Olexandr - Jastrabík, Lubomír - Virostko, Petr - Adámek, Petr - Kudrna, Pavel - Leshkov, S. - Chichina, Mariya - Kment, Štěpán
Langmuir probe diagnostics of a plasma jet system.
[Diagnostika plazmového tryskového systému pomocí Langmuirovské sondy.]
Plasma Sources Science & Technology. Roč. 18, č. 1 (2009), 014009/1-014009/11. ISSN 0963-0252. E-ISSN 1361-6595
R&D Projects: GA AV ČR KJB100100703; GA AV ČR KJB100100707; GA MŠMT(CZ) 1M06002
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : Langmuir probe * plasma jet * deposition
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Impact factor: 2.384, year: 2009

Selected recent results on the application of Langmuir probes to diagnose plasma jet systems are presented. To demonstrate the versatility of the Langmuir probe method we give examples of measurements of the spatial distribution of the plasma parameters as well as their temporal dependence in cases when the plasma jet system operates in a pulsed regime. A part of this paper is devoted to introducing the Langmuir probe technique, especially with regard to its application under conditions when collisions between the charged and neutral particles in the probe sheath cannot be neglected and when the electron energy distribution function in plasma cannot be approximated by a Maxwellian one. In the experimental part we present Langmuir probe measurement of low-pressure and atmospheric-pressure plasma jet systems that are currently used for experiments with deposition of materials with special properties.

Jsou prezentovány vybrané výsledky aplikací Langmuirovské sondy pro diagnostiku plazmatických tryskových systémů. Mnohostrannost použití metody je demonstrována na příkladech jak měření prostorového rozdělení parametrů plazmatu, tak jejich časového vývoje v případech, kdy je plazmatický tryskový systém provozován v pulzním režimu. Část publikace je věnována popisu metody Langmuirovské sondy, především s ohledem na její aplikaci v podmínkách, kdy nelze zanedbat srážky nabitých částic s neutrálními v oblasti prostorového náboje a kdy nelze aproximovat elektronovou rozdělovací funkci pomocí maxwellovské. V experimentální části jsou prezentovány měření parametrů plazmatu v plazmatických tryskových systémech pracujících za nízkého i za atmosférického tlaku, které jsou v současnosti používáný pro experimetny s depozicí materiálů speciálních vlastností.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0172580