Epitaxní růst z kapalné fáze

0324565 - FZÚ 2009 RIV CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Nohavica, Dušan
Epitaxní růst z kapalné fáze.
[Liquid phase epitaxy.]
Škola růstu krystalů 2008. Praha: Československá společnost pro růst krystalů, 2008 - (Nitsch, K.; Rodová, M.), s. 1-13. ISBN 978-80-254-2651-7.
[Škola růstu krystalů. Hnanice-Znojmo (CZ), 01.09.2008-02.09.2008]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521
Keywords : liquid phase epitaxial growth * dislocations * stacking faults
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

Poměrně rozsáhlá přednáška shrnuje základní aspekty přípravy epitaxních vrstev z kapalné fáze (LPE), s důrazem ne deposici polovodičů. Jsou uvedeny způsoby dosažení maximální reprodukovatelnosti růstového procesu a účinnosti deposice. Důraz je rovněž kladen na rozbor mechanizmů tvorby dislokací v epitaxních vrstvách.

Extended lecture collects mojority aspect of the "Liquid Phase Epitaxy", LPE, with special attention to the semiconductors growth. Methods of growth modifications enabling to increase growth reproduction and deposition efficiency are included. Also dislocations generation by different mechanisms is discussed in the article.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0172225