Optical gradient of the trapezium-shaped NaNbO.sub.3./sub. thin films studied by spectroscopic ellipsometry

0324122 - FZÚ 2009 RIV US eng J - Journal Article
Aulika, I. - Deyneka, Alexander - Zauls, V. - Kundzins, K.
Optical gradient of the trapezium-shaped NaNbO₃ thin films studied by spectroscopic ellipsometry.
[Optický gradient trapeciálních tenkých vrstev NaNbO₃ zkoumaných pomocí spektroskopické elipsometrie.]
Journal of the Electrochemical Society. Roč. 155, č. 10 (2008), G209-G213. ISSN 0013-4651. E-ISSN 1945-7111
R&D Projects: GA AV ČR KJB100100703; GA ČR GA202/08/1009
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : thin films * ellipsometry * optical gradient
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 2.437, year: 2008

Ellipsometric studies of the optical gradient of NaNbO3 thin films were performed in the photon energy range of 1.24–4.96 eV. Effective values of the complex refractive index and thickness nonuniformity, roughness, and depth profile of the real part of the refractive index were evaluated. An increase of the refractive index with increasing of the sample thickness was observed and discussed.

Elipsometrický výzkum optického gradientu tenkých vrstev NaNbO3 byl prováděn ve spektrální oblasti 1.24–4.96 eV. Efektivní hodnoty komplexního indexu lomu a nehomogenita vrstvy byly vypočítány za použití speciálně vyvinutého gradientního modelu. Zvětšení indexu lomu při zvýšení tloušťky vrstev bylo objeveno a objasněno.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0171903