Deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double RF hollow cathode plasma jet system

0324115 - FZÚ 2009 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Hubička, Zdeněk - Virostko, Petr - Olejníček, Jiří - Deyneka, Alexander - Adámek, Petr - Valvoda, V. - Jastrabík, Lubomír - Šícha, Miloš - Tichý, M.
Deposition of Ba_xSr_1-xTiO₃ thin films by double RF hollow cathode plasma jet system.
[Depozice tenkých vrstev Ba_xSr_1-xTiO₃ pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody.]
International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007 - (Schmidt, J.; Šimek, M.; Pekárek, S.; Prukner, V.), s. 765-768. ISBN 978-80-87026-01-4.
[International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./. Praha (CZ), 15.07.2007-20.07.2007]
R&D Projects: GA AV ČR KAN301370701; GA AV ČR 1QS100100563; GA MŠMT(CZ) 1M06002
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : BSTO * thin films * plasma deposition * hollow cathode * plasma jet
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Low-pressure plasma jet system with two hollow cathodes was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) ferroelectric thin films. High density pulse modulated RF hollow cathode discharge was generated in ceramic nozzles made of SrTiO3 and BaTiO3. In the experiment, the composition of BSTO films was controlled by magnitude of average RF power applied on particular plasma jet guns. X-ray diffraction proved that BSTO thin films were polycrystalline with perovskite structure. Time resolved Langmuir probe system and plasma impedance monitor were used for ´in situ´ plasma diagnostics and control of deposition conditions.

Nízkotlaký systém dvou plazmových trysek s efektem duté katody byl použit pro depozice feroelektrických tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO). V keramických tryskách vyrobených z SrTiO3 a BaTiO3 byl zapálen pulzně modulovaný RF výboj s efektem duté katody. Chemické složení vrstev BSTO bylo kontrolováno pomocí středního výkonu přiváděného na jednotlivé trysky. Rentgenová difrakce potvrdila, že deponované tenké vrstvy BSTO jsou polykrystalické s perovskitovskou strukturou. Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou a měřák impedance byly použity pro ´in situ´ kontrolu depozičních podmínek.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0171898