Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiO.sub.x./sub. thin films deposition

0324107 - FZÚ 2009 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Virostko, Petr - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Adámek, Petr - Jastrabík, Lubomír - Tichý, M.
Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiO_x thin films deposition.
[Sondové diagnostiky plazmatického tryskového systému s dutou katodou pro depozice tenkých vrstev TiO_x.]
International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007 - (Schmidt, J.; Šimek, M.; Pekárek, S.; Prukner, V.), s. 783-786. ISBN 978-80-87026-01-4.
[International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./. Praha (CZ), 15.07.2007-20.07.2007]
R&D Projects: GA AV ČR KAN400720701; GA ČR GA202/06/0776
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : probe diagnostics * Langmuir probe * hollow cathode * plasma jet
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Electric probe diagnostics were used to determine plasma parameters of the low pressure low temperature hollow cathode plasma jet system used for TiOx thin films depositions. Lagmuir probe measurements provided electron energy probability function, electron density, and effective electron temperature in the plasma jet for different working conditions. They were compared with measurements of the positive ion current to the negatively biased substrate. The substrate was biased with pulsed DC or RF voltage.

Sondové diagnostické metody byly použity k určení parametrů plazmatu nízkotlakého nízkoteplotního plazmatického tryskového systému s efektem duté katody, používaného pro depozice tenkých vrstev TiOx. Pomocí Langmuirovy sondy byla získána rozdělovací funkce elektronů, koncentrace elektronů a jejich efektivní teploty pro různé pracovní podmínky. Získané parametry byly porovnány s měřením proudu kladných iontů na depoziční substrát s negativní predpětím. Na substrát bylo přivedeno pulzní DC nebo radiofrekvenční napětí.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0171892