Mechanical properties of a-C, SiC and Ti-C:H films

0323167 - FZÚ 2009 RIV DE eng J - Journal Article
Čtvrtlík, Radim - Stranyánek, Martin - Boháč, Petr - Kulykovskyy, Valeriy - Suchánek, J.
Mechanical properties of a-C, SiC and Ti-C:H films.
[Mechanické vlastnosti tenkých vrstev a-C, SiC a Ti-C:H.]
International Journal of Materials Research. Roč. 99, č. 8 (2008), s. 871-875. ISSN 1862-5282. E-ISSN 2195-8556
R&D Projects: GA MŠMT OC 097; GA AV ČR KJB201240701
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : diamond-like carbon * nanoindentation * coating/substrate system
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 0.819, year: 2008

a-C, a-SiC and Ti-C:H coatings were deposited on two steel substrates with different hardness by magnetron sputtering. Their mechanical properties were investigated by depth sensing indentation and dry sliding testing. Load–displacement curves were obtained using a NanoTest NT600 instrument equipped with a Berkovich indenter. The depth profiles of the mechanical properties (indentation hardness H, effective modulus Eeff, and also H/Eeff and H3/Eeff2 ratios) on both substrates are presented. The goal of this article is to compare the dependence of the real response of a coating/substrate system on the substrate. Regardless of substrate type the highest and the lowest values of hardness and modulus belong to a-C and Ti-C:H films, respectively.

Příspěvek se zabývá zkoumáním mechanických vlastností tenkých vrstev a-C, a-SiC a Ti-C:H deponovaných technologií magnetronového naprašování. Vrstvy byly deponovány na dva ocelové substráty s odlišnou tvrdostí. Nanoindentační zkouška byla provedena na přístroji Nanotest NT600 s kalibrovaným indentorem typu Berkovič, pro výzkum tribologických vlastností byl použit HEF tribometr. Ve článku jsou prezentovány hloubkové profily mechanických vlastností vrstev (indetační tvrdost H, efektivní modul Eeff, podíly H/Eeff and H3/Eeff2 a koeficient tření) na obou substrátech. Cílem je srovnat reálnou odezvu systému vrstva/substrát. Bez ohledu na typ substrátu vykazují nejvyšší hodnoty tvrdosti a modulu vrstvy a-C.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0171213