Komora pro studium vysoce agresivních vzorků v EREM

0322619 - ÚPT 2009 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Runštuk, Jiří - Neděla, Vilém
Komora pro studium vysoce agresivních vzorků v EREM.
[Chamber for a study of highly-aggressive samples in VP-SEM.]
Internal code: HS-1 ; 2008
Technical parameters: Nově navržená a zkonstruovaná komora umožňuje studium agresivních vzorků při velmi vysokém tlaku plynů v komoře vzorku EREM tak, aby nedocházelo k poškození mikroskopu.
Economic parameters: Zařízení lze použít v elektronových mikroskopech všech světových výrobců. Významně prodlužuje životnost a zlepšuje parametry mikroskopů v případě, že jsou dlouhodobě používány pro studium agresivních vzorků, jako jsou např. kyseliny.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : VP-SEM * aggressive samples * chamber
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Přítomnost vysokého tlaku plynů a aerosolů, jenž jsou uvolňovány v důsledku interakce primárního elektronového svazku s agresivními vzorky, může docházet k poškozování zařízení v komoře vzorku mikroskoou Tyto chemikálie mohou také zapříčinit vznik nečistot v tubusu mikroskopu a výrazně tak snížit jeho rozlišení. Výše zmíněné problémy mohou být řešeny použitím nově zkonstruovaného zařízení (komory), jenž umožňuje studium agresivních vzorků v elektronových mikroskopech typu EREM.

Unfortunately, the presence of high pressure environment together with vapours or aerosois released by beam bombardment from aggressive samples (battery materiál, hydrocarbon containing samples, etc.), can damage specimen chamber equipment of VP-SEM. These chemicals make problems and create impurities inside the column (along the way of the pumped gas) and cause significant decrease of resolution. Above mentioned problems may be overcome by the use of a newly designed apparatus for the study of aggressive samples in VP-SEM.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0170818