Měřící a vyhodnocovací zapojení, zejména pro interferometrické měření malých rozměrových změn

0321645 - BC 2009 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Roháček, Karel - Adámek, P.
Měřící a vyhodnocovací zapojení, zejména pro interferometrické měření malých rozměrových změn.
[Measuring and data evaluation system, particularly for measurements of small changes in sample dimensions.]
Internal code: Užitný vzor č. 18613 ; 2008
Technical parameters: Měřící a vyhodnocovací zapojení
Economic parameters: nové technické řešení
R&D Projects: GA AV ČR IAA600960716
Keywords : Measuring system * interferograms * reference signal
Subject RIV: BO - Biophysics

Měřící systém využívá kombinovaného zapojení tří detektorů k záznamu základního interferogramu, fázově posunutého interferogramu a referenčního signálu. Tím je získána informace jak o rozměrových změnách vzorku, tak o smyslu této změny, včetně korekcí na rušivý vliv okolí. Systém umožňuje on-line zpracování a vyhodnocení dat.

Measuring system integrates three detectors for recording of the basic and phase-shifted interferograms, and a reference signal. This provides information both on changes in sample dimensions and on sign of these changes, including corrections to intruding impact of outer signals. This device allows on-line data processing and data evaluation.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0170118