A new program for the design of electron microscopes

0315558 - ÚPT 2009 RIV NL eng J - Journal Article
Lencová, Bohumila - Zlámal, J.
A new program for the design of electron microscopes.
[Nový program pro návrh elektronových mikroskopů.]
Physics Procedia. Roč. 1, č. 1 (2008), s. 315-324. ISSN 1875-3892.
[International Conference on Charged Particle Optics /7./ CPO-7. Cambridge, 24.07.2006-28.07.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : finite element method * electron lenses and deflectors * computer-aided design * user interface
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The paper describes the basic features of a new program EOD (Electron Optical Design), primarily intended for the design of systems of electron lenses and deflectors for scanning and transmission electron microscopes. A very accurate first-order finite-element method in dense graded topologically regular meshes provides the fields. Electron optical properties can be analyzed from standard paraxial trajectories and aberration integrals for combined lens and deflection systems or, for a general system, from the results of very accurate ray-tracing. The advantage of EOD is that it includes a user-friendly interface, simplifying the graphical output of results and the whole design procedure.

Článek popisuje základní vlastnosti nového programu EOD, určeného zejména pro návrh systému elektronových čoček a deflektorů pro rastrovací a prozařovací elektronové mikroskopy. Velmi přesná metoda konečných prvků v hustých topologicky regulárních sítích s proměnným krokem poskytuje rozložení pole. Elektronově optické vlastnosti mohou být analyzovány ze standardních paraxiálních trajektorií a aberačních integrálů pro kombinované čočky a vychylovací systémy nebo pro obecné systémy z výsledků přesného trasování. Výhodou EOD je, že zahrnuje uživatelsky příjemný interfejs, který zjednodušuje grafický výstup výsledků a celý proces návrhu.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0165725